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晶體生長(zhǎng)爐LFT1600C 20VIM VT

更新時(shí)間:  2026-01-27

產(chǎn)品型號(hào):  

產(chǎn)品報(bào)價(jià):  

所  在  地:  合肥市新站區(qū)穎河路22號(hào)

產(chǎn)品特點(diǎn):  晶體生長(zhǎng)爐可用于多晶錠的定向凝固,通過(guò)控制溫度梯度、物質(zhì)傳輸速率及生長(zhǎng)參數(shù),實(shí)現(xiàn)單晶的高效、高質(zhì)量生長(zhǎng),適用于碳化硅、單晶硅等材料的制備。

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產(chǎn)品概述

一、簡(jiǎn)要介紹

晶體生長(zhǎng)爐可用于多晶錠的定向凝固,通過(guò)控制溫度梯度、物質(zhì)傳輸速率及生長(zhǎng)參數(shù),實(shí)現(xiàn)單晶的高效、高質(zhì)量生長(zhǎng),適用于碳化硅、單晶硅等材料的制備

該設(shè)備主要由設(shè)備主體、爐管法蘭組件、控制面板、感應(yīng)線圈移動(dòng)機(jī)構(gòu)、物料升降機(jī)構(gòu)、高真空系統(tǒng)、水冷機(jī)等組成。

該設(shè)備設(shè)計(jì)溫度為1500℃,PID 程序控溫(自整定調(diào)節(jié) 30段可調(diào)程序控溫);

感應(yīng)線圈可升降可更換圈數(shù),移動(dòng)行程:200mm,移動(dòng)速度:1-3mm/h;

內(nèi)含載物坩堝,坩堝配有升降機(jī)構(gòu),最大行程:200mm,有熱電偶實(shí)時(shí)測(cè)溫;

晶體生長(zhǎng)爐LFT1600C 20VIM VT

二、技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

LFT1600C20VIM VT

設(shè)備重量

220KG

外型尺寸(長(zhǎng)*深*高)

725*1125*1790mm

輸出功率

20KW

震蕩頻率

200-500KHZ

加熱電流

2.8-28A

輸入電壓

三相 380V 50HZ

負(fù)載持續(xù)率

100%(24小時(shí)連續(xù)工作)

控溫方式

PID控制

測(cè)溫方式

熱電偶測(cè)溫(可調(diào)節(jié)測(cè)溫距離)

設(shè)計(jì)溫度

1500℃

爐管尺寸

Φ80*500mm

感應(yīng)線圈

DN80,1/2/3匝

線圈移動(dòng)行程

200mm

線圈移動(dòng)速度

1-3mm/h

樣品升降行程

200mm




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